1.項目背景:
半導體是電子產品的核心元件,是整個信息產業的發展基石。隨著半導體器件變得越來越小,半導體工藝從28nm走向7nm、5nm及更先進等級后,先進的制程對雜質的敏感度更高,小尺寸污染物的高效清洗將更困難,對超純水的電導性、離子含量、TOC等要求越來越嚴,這意味著超純水的制備工藝將更重要、更富挑戰性。
2.項目信息
項目地點:廣東省珠海市 應用場景:企業中水回用系統
進水水質:生產廢水 產水用途:工藝用水
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